兩個1克拉鉆石的總價之和,肯定不如一個2克拉鉆石的單價。但是,怎么樣才能讓他們生長到一起呢?
大尺寸晶圓級單晶金剛石,性能優異、需求迫切,可是現有的制備手段都面臨各自的瓶頸,又該如何突破?
哈爾濱工業大學朱嘉琦教授團隊研究了單晶金剛石拼接長大的問題。他們提出了單晶金剛石“同質連接”生長的概念,認為CVD金剛石制備方法中,馬賽克式生長和圖案化生長的本質共性都是同質連接,這一廣義概念還囊括了單晶/多晶金剛石薄膜沉積的相似屬性、機理和過程。生長過程中,要打破基底限制的瓶頸,以獲得具有高晶體品質和多元結構的大尺寸金剛石自支撐薄膜。
相關的成果以“Coessential-connection by microwave plasma chemical vapor deposition: a common process towards wafer scale single crystal diamond”為題,發表在Functional Diamond 雜志上。(點擊此處閱讀原文)
通信作者
朱嘉琦博士,哈爾濱工業大學科學技術研究院院長,航天學院教授、博導,長江學者特聘教授,國家杰出青年基金,萬人計劃領軍人才。主要從事光電晶體、薄膜及器件等研究,擔任中國硅酸鹽學會薄膜與涂層分會副理事長、中國儀表材料學會副理事長、中國機械工程學會表面工程分會副主任。獲得中國青年科技獎、省青年五四獎章等榮譽。負責的紅外薄膜與晶體團隊入選科工局國防科技創新團隊。以負責人承擔國家自然科學基金6項、國家重點研發計劃課題1項,以及多個國防類重點項目,多項成果已實現產業化應用。獲授權發明專利80余項,發表SCI論文240余篇。