carborntech2019
第四屆國際碳材料大會暨產業展覽會
2019年11月26-29日·上海跨國采購會展中心
規模
160+展商|5000+行業代表|30000+觀眾
Iplas Innovative Plasma Systems GmbH
與您相約Carbontech 2019
展位號:D030
iplas是德國一家專注于基于獨特的CYRANNUS?等離子源的高產率金剛石CVD設備的公司和團隊。于1997年由-Ing. Hildegard Sung-Spitzl博士和Dr. Ralf Spitzl. 博士創立。公司的長期戰略是高度關注客戶應用的生產率。此類最高技術解決方案的基礎是開放和可信賴的合作關系,這些客戶始終受到最大程度的機密性保護。公司致力于為企業的CVD金剛石從研究到工廠投產的各個方面提供幫助。
產品系列
1. CYRANNUS?CVD系統
(1)用于鉆石和其他產品的微波激發等離子體CVD系統
(2)從小單位到全工廠的生產系統
(3)針對高端應用和創新的定制研發系統
2. 服務
(1)工廠交付
(2)流程指導
(3)生產培訓中心
(4)實驗室租賃
3. 材料
(1)樣品生產
(2)種子材料
性能
1. 反應器類型
(1)頻率:915MHz;功率:5-100kW(根據不同應用);適用于大規模和氣體化學反應,典型沉積范圍:?150-300mm
(2)2.45GHz,功率:可根據要求和應用提供6kW或更高的功率,典型沉積范圍:?50-100mm
(4)其他:5.8GHz或9.4GHz
2. 特點:
(1)最佳場密度與沉積面積(效率)的關系
(2)基板的原位z操縱
(3)原位偏置
3. 操作模式
(1)具有工廠控制的自動化系統
(2)用于小規模生產和研發的半自動化系統
金剛石
所有CYRANNUS?系統的所有類型……
(1)單晶生長(同質外延,異質外延,電子級等)
(2)微晶膜(從微米級到納米級;高度取向)
(3)納米/超納米晶金剛石膜
(4)石墨烯,碳納米壁等
其他應用
iplas等離子工藝涵蓋了獨特的不同應用范圍,以下僅為CYRANNUS?技術在金剛石方面的能力:
(1)大小可控制的大量納米粒子
(2)等離子風洞,用于太空船再入模擬
(3)各種化合物的等離子化學
(4)用于生物相容性或蝕刻的超快飽和表面處理
方法
iplas在德國擁有超過20年的研發經驗,擁有全面的流程和應用知識。我們的解決方案不只是一組技術特性,它們是針對具體實際需求的特定解決方案。
(1)專注于業務和技術→優化商業解決方案
(2)完全同步的技術,同時執行
-CVD工藝知識→提高產量
-最高的自動化水平→可靠性和控制性
-德國工程→值得信賴的堅固性和耐用性
iplas常務董事Dr.-Ing. Hildegard Sung-Spitzl將出席Carbontech 2019——5G時代金剛石的創新應用論壇,并做相關報告。
Dr.-Ing. Hildegard Sung-Spitzl
Dr.Sung-Spitzl, 德國亞琛工業大學的物理和機械工程師。曾在頂級管理咨詢公司工作,幾年之后,在德國成立了iplas GmbH公司,專注于高度集成的等離子技術。
報告題目及摘要
題目
Integrated CVD technology projects combine faster business performance and higher yield
摘要
The talk gives an introduction how to start a commercial CVD production at very high speed. Concepts of industry 4.0 are valued as technology solutions for the next decade regarding reliability, sustainability and stable growth. Basing on long internal research and strategic development, today iplas provides integrated business solutions with the shortest time to market for all customers. The innovative approach enables a highly competitive market position even without long term in-house CVD experience.
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