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鄭州華晶金剛石股份有限公司

新一代合成金剛石設備制造技術研究計劃完成

關鍵詞 合成 , 金剛石設備制造技術 , 完成|2008-05-22 00:00:00|來源 新華美通
摘要 英格蘭ASCOT2008年5月21日電--由ElementSixLtd研究人員指導、并與斯特拉斯克萊德大學(UniversityofStrathclyde)InstituteofP...

  英格蘭 ASCOT 2008年5月21日電 -- 由 Element Six Ltd 研究人員指導、并與斯特拉斯克萊德大學 (University of Strathclyde) Institute of Photonics(光子學研究所,簡稱 IoP)合作進行的 Micromachined Diamond Device Initiative(微機械金剛石設備計劃,簡稱 MIDDI)圓滿結束。MIDDI 部分資金由英國貿工部 (UK Department of Trade and Industry) 提供,旨在研發全球領先的金剛石微電子設備制造技術,讓歐洲公司比日本和美國公司更具競爭優勢。
  
  MIDDI 主要專注于研發一個擁有先進微納米制造技術的“工具箱”,該技術以合成單晶金剛石為基礎,可用于新一代高頻、高功率電子設備的開發。Element Six 在使用化學氣相沉積制造電子級合成金剛石領域處于世界領先地位。MIDDI 進一步擴大了這種領先優勢。
  
  斯特拉斯克萊德大學 IoP 一直扮演提供等離子體刻蝕技術專長的角色,該技術被用于界定設備制造所要求的精確表面特征。該研究所成立于1995年,已經成為刻蝕材料方面的專業技術中心,刻蝕材料素來難以加工。材料領域的專長促成了 IoP 在半導體光電子學、固態激光工程和生物光子學方面的成功。
  
  IoP 副所長 Martin Dawson 教授評論說:“MIDDI 項目展示了英國大學是如何與工業領域合作并成功進行技術研發的。Element Six 設計了項目的任務,為先進的金剛石結構提供了受控的摻雜特性;學校通過研發一種雙方共同擁有專利的創新型干刻蝕方法來完成任務。這真正打開了生產金剛石電子產品之門,同時也拓寬了一系列新技術(包括金剛石光子學)的更廣泛應用,憑借 Element Six 的支持,斯特拉斯克萊德大學如今在該領域擁有非凡的影響力。”
  
  三個領域的成就
  
  該項目已在三個領域取得顯著成就,這將有助于 Element Six 為采用金剛石制造的主動電子設備的開發提供支持。首先,擁有原子級低粗糙度表面的基片和外延層生產中所采用的合成和加工技術得到改善。制造高精度金剛石納米層的能力取決于一系列復雜的加工和合成步驟。對于一個高頻主動電子設備來說,某些個別納米層要求厚度為幾納米。此外,這些納米層需要有原子級的平滑度和極度精確的雜質分布。
  
  其次,Element Six 現在能夠存放納米級厚度的摻硼金剛石薄層。依據 delta MESFET 這樣的金剛石提出來的主動交換設備概念使用這些夾在兩個未摻雜其他物質的原金剛石層之間的薄層來支持晶體管作用。最終 MIDDI 得出了一種可再生的全面刻蝕技術,適用于晶體管設備制造。
  
  Element Six 商業業務經理 Christopher Ogilvie Thompson 指出:“這些成功的結果已經為一家新的 Element Six 子公司的成立打下了基礎。Diamond Microwave Devices Ltd 致力于開發全球首個商業高頻、高功率金剛石晶體管。另外,MIDDI 開發出的技術也會有利于輻射探測器和微光學設備等先進應用所采用的其它金剛石技術。
  
  Element Six 簡介
  
  Element Six 是全球領先的優質超硬磨料和先進工程材料供應商,產品廣泛應用于制造業。該公司是各種工業應用所采用的合成金剛石和新工程材料開發領域的先鋒,應用領域包括光學、機械、熱能、電子、汽車、電信和媒體等行業。Element Six 的營業額超過5億美元,擁有員工近4000名,在中國、德國、愛爾蘭、瑞典、南非、烏克蘭和英國設有生產和加工工廠,擁有全球分銷網絡的支持。
  
  Institute of Photonics 簡介
  
  Institute of Photonics 成立于1995年,是一個以商業為中心的研究機構,隸屬于斯特拉斯克萊德大學。其主要目標是彌合學術研究與光子學行業應用、開發之間的鴻溝。該機構的研究興趣包括半導體材料和設備、實用全固態激光、微型 LED 陣列以及范圍廣泛的應用,尤其在光子學領域。Institute of Photonics 總部位于斯特拉斯克萊德大學的格拉斯哥市中心校區。IoP 承接來自工業領域的合同,進行合作研究,還提供咨詢服務。該機構擁有人數眾多的哲學博士和工程學博士研究生,面向企業授權技術。
 

 

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