美國SP3公司為赫瑞瓦特大學安裝先進的金剛石沉積設備
——化學氣相沉積金剛石應用新進展
美國SP3金剛石技術公司(以下簡稱SP3 公司)是一家全球領先的金剛石薄膜產品、生長設備以及服務供應商。在不久前銷售出一套先進的650型熱絲法CVD金剛石沉積設備之后,SP3公司宣布,他們已經將該套設備安裝到位于蘇格蘭愛丁堡的赫瑞瓦特大學。作為該大學研究中的一個組成部分,本設備正在被用來研發一項可承受核聚變反應所產生巨大熱量的技術。赫瑞瓦特大學在國際熱核聚變實驗堆(ITER)計劃中扮演重要角色。ITER計劃是當今世界科技界為解決人類未來能源問題而開展的重大國際合作計劃,累計耗資100億歐元,其目標是發展無污染且對全球變暖問題無影響的核能源。
由于金剛石對下一代核反應堆所產生的熱量具有獨一無二的承受能力,因此赫瑞瓦特大學將帶有金剛石涂層的基體選作反應堆的墻體材料。此外,金剛石的抗輻射能力以及它在氫等離子體環境中的化學穩定性也是金剛石成為被選擇材料的重要原因。
“我們相信,我們正在進入一個金剛石性能被前所未有地挖掘的新時代,并且金剛石將會成為越來越多領域中的不二選擇”,美國SP3公司主席兼首席運營官Dwain Aidala如是說,“我們的設備得以采納的主要原因是由于它能夠實現大面積且低成本地沉積金剛石薄膜。我們看到,650型沉積設備中的專利技術和核心工藝將使其成為CVD金剛石在更多市場領域得以推廣的催化劑。”
美國SP3公司的650型設備可以在各種基體材料上面大面積且低成本地沉積高品級聚晶金剛石薄膜,沉積厚度可以根據需要在200納米和50微米之間自由選擇。化學氣相沉積(CVD)工藝可在直徑達300毫米的區域內沉積生長金剛石等材料,沉積產品可用作耐磨涂層、熱管理元件基體、太陽能電池等用非晶硅、水處理和電化學用電極、半導體卡盤用鈍化層、切割工具等等。(本文由北京希波爾公司翟世超編譯)