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類金剛石與金剛石復合膜作新型光學增透膜

關鍵詞類金剛石 , 金剛石復合膜 , 新型光學增透膜 |2010-12-10 00:00:00|行業專利|來源中國超硬材料網

摘要名稱類金剛石與金剛石復合膜作新型光學增透膜公開號1188160公開日1998.07.22主分類號C23C16/26&nb

名稱	類金剛石與金剛石復合膜作新型光學增透膜
公開號	1188160	公開日	1998.07.22
主分類號	C23C16/26	分類號	C23C16/26
申請號	97106741.4
分案原申請號		申請日	1997.11.24
頒證日		優先權
申請人	上海大學	地址	201800上海市嘉定區城中路20號
發明人	夏義本; 居建華; 史偉民; 莫要武; 安其霖; 王鴻	國際申請
國際公布		進入國家日期
專利代理機構	上海高校專利事務所	代理人	張建成
摘要	金剛石復合膜是屬于薄膜技術領域，它是以高頻等離子體法制成的類金剛石膜上再以微波等離子體法化學氣相沉積而成。涂覆于硅太陽能電池及紅外探測器上，具有光學增透效應。本發明解決了此類光電器件的光電轉換效應及光透性差的問題，且又有更佳的鈍化作用，尤其使硅太陽能電池光譜響應波長范圍拉寬，增透率為４０％理論值接近，用于紅外探測器特別Ｈｇｄｅ器件上解決了光透材料，使平均透過率提高。

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