摘要 名稱鍺硅紅外光學鏡頭鍍類金剛石碳膜公開號1033653公開日1989.07.05主分類號C23C14/06
名稱 | 鍺硅紅外光學鏡頭鍍類金剛石碳膜 | ||
公開號 | 1033653 | 公開日 | 1989.07.05 |
主分類號 | C23C14/06 | 分類號 | C23C14/06;C23C14/40;G02B1/10 |
申請號 | 87105946.0 | ||
分案原申請號 | 申請日 | 1987.12.22 | |
頒證日 | 優先權 | ||
申請人 | 昆明物理研究所 | 地址 | 云南省昆明市北郊教場東路32號 |
發明人 | 李忠奇; 劉成贊; 李正芬; 左名光; 金惠忠 | 國際申請 | |
國際公布 | 進入國家日期 | ||
專利代理機構 | 云南省專利事務所 | 代理人 | 李燦 |
摘要 | 本工藝發明屬于在鍺硅光學鏡頭(片)上鍍紅外超硬膜技術。是在濺射機中,充入丁烷和氬氣的混合氣體,選擇適當的射頻電壓產生輝光放電,使混合氣體電離,在電場作用下,使正離子撞擊到負電極上沉積薄膜的方法,從而使鍺 硅鏡頭(片)上獲得類金剛石超硬膜。$本發明所鍍制出的膜屬類金剛石碳膜,它具有機械強度高,耐磨性能好,紅外光學特性優良,且適于鍍制大面積光學透鏡等優點。適用于一切紅外光學鏡頭(片)及光學儀器窗口材料的鍍制。 |