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官方微信摘要 名稱一種氣相生長金剛石膜的反應室公開號2361640公開日2000.02.02主分類號C23C16/26
| 名稱 | 一種氣相生長金剛石膜的反應室 | ||
| 公開號 | 2361640 | 公開日 | 2000.02.02 |
| 主分類號 | C23C16/26 | 分類號 | C23C16/26 |
| 申請號 | 98211291.2 | ||
| 分案原申請號 | 申請日 | 1998.01.22 | |
| 頒證日 | 1999.12.24 | 優先權 | |
| 申請人 | 河北省機電一體化中試基地 | 地址 | 050081河北省石家莊市友誼南大街46號 |
| 發明人 | 張永貴; 梁風榮; 臧建民; 唐才先; 杜素梅; 王志娜; 羅 | 國際申請 | |
| 國際公布 | 進入國家日期 | ||
| 專利代理機構 | 河北省科技專利事務所 | 代理人 | 丁琛 |
| 摘要 | 一種氣相生長金剛石膜的反應室，包括等離子弧噴射裝置、電機及導軌，等離子弧噴射裝置裝在蓋體中部，蓋體聯接雙層密封罩，雙層密封罩上有觀察窗，觀察窗的頂端聯接視鏡，上述等離子弧噴射裝置的外部、雙層密封罩的夾層及觀察窗的頂部均有連接循環水源的水套，密封罩的下部聯接氣腔殼，氣腔殼及熱交換器軸承聯接沉積臺托軸，沉積臺托軸中有回水冷卻管，電機齒輪傳動沉積臺托軸，軸座的一側連接導軌，軸座的下部與推進裝置由絲杠絲母聯接。本反應室可以廉價高速地生長出大面積的金剛石膜。 | ||
豫公網安備41019702003646號