名稱 | 大孔徑金剛石涂層拉拔模的制備方法 | ||
公開號 | 1401818 | 公開日 | 2003.03.12 |
主分類號 | C23C16/27 | 分類號 | C23C16/27 |
申請號 | 02136951.8 | ||
分案原申請號 | 申請日 | 2002.09.12 | |
頒證日 | 優先權 | ||
申請人 | 上海交通大學 | 地址 | 200030上海市華山路1954號 |
發明人 | 張志明;沈荷生;孫方宏;郭松壽;金衛國 | 國際申請 | |
國際公布 | 進入國家日期 | ||
專利代理機構 | 上海交達專利事務所 | 代理人 | 毛翠瑩 |
摘要 | 一種大孔徑金剛石涂層拉拔模制備方法,以孔徑大于φ15毫米的硬質合金拉拔模為襯底,內孔表面經稀鹽酸滴加雙氧水腐蝕、清洗后置于反應室中,采用由多根熱絲組成并由圓形鉬片均勻隔離分布的鼠籠式熱絲組件來替代單根熱絲,熱絲組件穿過模孔后用耐高溫彈簧拉直,并使熱絲組件軸線與模孔軸線相重合,然后用熱絲CVD法在內孔表面沉積得到金剛石涂層及納米金剛石復合涂層。由于本發明采用的鼠籠式多根熱絲分布的對稱性與均勻性,以及熱絲與孔徑表面的距離縮短,涂層的質量和厚度都能得到保證。制備的涂層拉拔模可用于多股電線的絞合和緊壓,也可用于金屬管的管壁減薄、管壁對焊、定徑等各種用途,具有摩擦系數小、使用壽命長等優點。 |