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金屬鈦為界面層非晶金剛石薄膜多層材料

關鍵詞金屬鈦 , 金剛石 , 薄膜材料|2005-07-08 00:00:00|來源中國超硬材料網

摘要發明涉及一種以金屬鈦為界面層的非晶金剛石薄膜材料，它是一種基體材料與非晶金剛石薄膜之間沉積一層金屬鈦而制備的多層材料。該材料經熱處理后，能使金屬鈦與非晶金剛石薄膜之間形成一層碳化鈦...

　　發明涉及一種以金屬鈦為界面層的非晶金剛石薄膜材料，它是一種基體材料與非晶金剛石薄膜之間沉積一層金屬鈦而制備的多層材料。該材料經熱處理后，能使金屬鈦與非晶金剛石薄膜之間形成一層碳化鈦過渡層，造成金屬鈦與非晶金剛石薄膜之間良好的接觸，并降低了界面的勢壘高度，同時使結合力得到增強，增加非晶金剛石薄膜的使用壽命，該多層材料可廣泛地用作微電子及其甲板顯示器等新型功能器件的部件。

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