經(jīng)歷了數(shù)次疫情的洗禮，第六屆國際碳材料大會暨產(chǎn)業(yè)展覽會終于克服重重困難，于11月15日在深圳國際會展中心（寶安新館）正式開幕，全國各地科研院所、企業(yè)、專家等云集深圳，堅持產(chǎn)學(xué)研結(jié)合，探討新技術(shù)、新工藝、新市場，其中極端制造與超精密加工論壇于15日14：00-17：00成功舉辦。論壇由中國超硬材料網(wǎng)總經(jīng)理石超主持。

▲ 中國超硬材料網(wǎng)總經(jīng)理石超

       本屆極端制造與超精密加工論壇齊聚頂級產(chǎn)學(xué)研嘉賓，以“金剛石與激光結(jié)合應(yīng)用技術(shù)、第三代半導(dǎo)體基片高效超精密拋光、復(fù)合材料加工技術(shù)、硬脆難加工材料、復(fù)合材料超高速磨削、微波CVD金剛石、聚焦離子束刻蝕”等為話題，舉行多場高質(zhì)量技術(shù)報告，來自全國各地的院士大咖、專家學(xué)者、企業(yè)代表分享研究成果，全方位、多層次深入探討，不一樣的熱點(diǎn)，超前沿的話題！

       下午兩點(diǎn)論壇正式開始，首先做報告的是南方科技大學(xué)講席教授、工學(xué)院副院長張璧教授，報告題目是《超高速磨削加工難加工材料表面完整性研究》。

南方科技大學(xué)講席教授、工學(xué)院副院長張璧教授做《超高速磨削加工難加工材料表面完整性研究》報告

      報告內(nèi)容涉及理論分析、多尺度建模仿真、加工工藝、過程監(jiān)控和材料表征等，使用超高速加工設(shè)備、高應(yīng)變率霍普金森拉伸和壓縮設(shè)備、掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡等技術(shù)以及有限元方法和分子動力學(xué)等多尺度模擬仿真手段，探索材料加工中表面完整性的演化規(guī)律，為企業(yè)提供高效優(yōu)質(zhì)加工方案。

       接下來是南方科技大學(xué)機(jī)械與能源工程系吳勇波教授帶來的報告《光學(xué)非球面超聲輔助直線刃單點(diǎn)金剛石切削技術(shù)研究》。

南方科技大學(xué)機(jī)械與能源工程系吳勇波教授做《光學(xué)非球面超聲輔助直線刃單點(diǎn)金剛石切削技術(shù)研究》報告

       報告中對于高性能光學(xué)非球面透鏡/反射鏡的高效精密加工制造，提出了超聲輔助直線刃單點(diǎn)金剛石超精密切削新方法。在分析了所提方法相較于傳統(tǒng)的金剛石磨削和圓弧刃單點(diǎn)金剛石切削優(yōu)勢的基礎(chǔ)上，設(shè)計制作了超聲切削裝置，并搭載到超精密數(shù)控車床上構(gòu)建了實(shí)驗(yàn)裝置。針對適合于遠(yuǎn)紅外探測的硒化鋅材料和EUV光刻機(jī)光路系統(tǒng)反射鏡不可或缺的微晶玻璃，進(jìn)行了非球面超精密切削加工實(shí)驗(yàn)。一系列不同參數(shù)下的實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，在合適加工參數(shù)下，可獲得表面粗糙度Ra10nm左右、面形精度約100nm的高表面質(zhì)量高面形精度非球面，同時超聲作用可大幅度減輕刀具磨損，驗(yàn)證了該新方法具備高效高精加工光學(xué)非球面的高度可行性。

       第三場報告嘉賓是深圳優(yōu)普萊等離子體技術(shù)有限公司研發(fā)董事長全峰，做題目為《基于MPCVD技術(shù)的金剛石涂層制備及其先端工業(yè)應(yīng)用》的報告。

深圳優(yōu)普萊全峰董事長做《基于MPCVD技術(shù)的金剛石涂層制備及其先端工業(yè)應(yīng)用》的報告

       報告中全總指出高品質(zhì)的金剛石涂層在尖端精密機(jī)械，光學(xué)，生物醫(yī)學(xué)，能源環(huán)境和半導(dǎo)體領(lǐng)域具有非常重要的應(yīng)用。該技術(shù)長期掌握在歐美日少數(shù)公司手中，屬于典型的“卡脖子”的高端材料。本報告圍繞目前市場上的主流金剛石涂層制備技術(shù)展開，熱絲CVD，諧振腔MPCVD，線性等離子體MPCVD。分析各種制備技術(shù)的優(yōu)缺點(diǎn)。最后分析了金剛石涂層的各領(lǐng)域市場份額和趨勢，為MPCVD的發(fā)展指明了方向。

       論壇最后一場報告是由大連理工大學(xué)孫吉寧教授在線分享的《聚焦離子束刻蝕與跨尺度微納制造》。

大連理工大學(xué)孫吉寧教授在線分享《聚焦離子束刻蝕與跨尺度微納制造》

       孫教授長期致力于微納米制造、微納功能表面、微納傳感器方面的前沿研究。成功研發(fā)了第一代可以用于大尺寸微納加工制造的納米級金剛石切割工具，孫教授掌握的超精密聚焦離子束三維刻蝕核心技術(shù)，打破了該領(lǐng)域幾十年來的尺度極限，在超精密納米加工中，解決了各種瓶頸問題，在孫教授看來，高精度與高效率是超精密加工永恒的主題，探索能兼顧效率和精度的加工方法，是他永恒的目標(biāo)。每場報告大約25分鐘，每場報告結(jié)束后，有問答環(huán)節(jié)。現(xiàn)場的各位業(yè)界專家們也積極與報告嘉賓互動，并對相關(guān)話題展開了討論。

       報告結(jié)束，主持人為每位報告嘉賓頒發(fā)證書，并合影留念！

       根據(jù)會議安排，15日還同期舉辦了Workshop：激光遇見碳——金剛石與激光結(jié)合的應(yīng)用探索，由浙江富研新型材料有限公司首席科學(xué)家兼技術(shù)總監(jiān)宋建民教授主持，并做了專業(yè)的分享，之后相關(guān)企業(yè)及專家團(tuán)隊就十多個話題共同探索金剛石與激光結(jié)合的應(yīng)用以及金剛石在光電器件領(lǐng)域應(yīng)用。

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